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Gasanalyse

Gasanalyse in Echtzeit mit vielfältigen Anwendungsgebieten

Oberflächenanalyse

Oberflächenanalyse, UHV-Oberflächenanalyse, SIMS & SNMS

Katalyse & Thermische Analyse

Automatische Mikroreaktoren und Massenspektrometer für die Katalyse-Forschung

Dünnfilme, Plasma- und Oberflächenuntersuchungen

RGA, Plasmaionen-Analyse, Oberflächenanalyse und Endpunkterkennung mittels SIMS

Restgasanalyse

Analyse von Gasen und flüchtigen Spezies in Vakuumkammern und -prozessen