Massenspektrometer für die Restgasanalyse
![](https://www.hideneurope.de/wp-content/uploads/2020/05/rga.jpg)
RGA Series
Systeme zur Untersuchung von Komponenten, die in einem Behälter vorhanden sind oder aus einem Prozess stammen. Misst die Konzentration von Gasen und Dämpfen in Echtzeit.
![](https://www.hideneurope.de/wp-content/uploads/2021/04/HALO201-with-wires-white.jpg)
HALO
Ein Restgasanalysator für Vakuum-Fingerprint-Analyse, Lecksuche und Trendanalyse.
![](https://www.hideneurope.de/wp-content/uploads/2020/08/ion-source.jpg)
Ion Source Options
Eine Reihe von Elektronenstoß-Ionenquellen, die mit jedem unserer Restgasanalysatoren geliefert werden können. Konfiguriert Restgasanalysatoren für spezifische Anwendungen, zum Beispiel für die Molekularstrahlanalyse.
![](https://www.hideneurope.de/wp-content/uploads/2020/05/hmt.jpg)
HMT
Ein Dual-Mode-RGA-System für die Vakuumdiagnostik und Prozessüberwachung ohne Differentialpumpbetrieb. Misst die Restgase, Prozessverunreinigungen und sorgt für die Lecksuche.
![RGA vacuum fired ion source](https://www.hideneurope.de/wp-content/uploads/2022/04/RGA-vacuum-fired-ion-source-e1649336749805.png)
HAL 201 RC
Ein Restgasanalysator, konfiguriert für anspruchsvolle UHV-Anwendungen. Misst die Konzentration von Gasen und Dämpfen in Echtzeit.
![](https://www.hideneurope.de/wp-content/uploads/2020/05/halo-201-mbe.jpg)
HALO 201 MBE
Ein Restgassystem, konfiguriert für Molekularstrahlepitaxie-Anwendungen. Misst Restgase und sorgt für die Kontaminations- und Leckerkennung in MBE-Anlagen.
![](https://www.hideneurope.de/wp-content/uploads/2021/04/EPIC-9mm-with-cryo-4.png)
EPIC / EPIC 1000 Series
Ein System für die UHV-Analyse von Neutralen, Radikalen und Ionen. Misst die Ionen, Neutrale und Partialdrücke im UHV/XHV.
![](https://www.hideneurope.de/wp-content/uploads/2020/05/idp-1000.jpg)
IDP / IDP 1000 Series
Ein System für die Analyse von Ionen, Neutralen und Radikalen in UHV-Desorptionsstudien. Misst Ionen und Neutrale in der elektronen- und photonenstimulierten Desorption.
![](https://www.hideneurope.de/wp-content/uploads/2020/05/3f-series.jpg)
3F Series / 1000 Series RGA
Ein System für hochpräzise wissenschaftliche und Prozessanwendungen. Misst die Partialdrücke von Restgasen mit ultrahoher Auflösung und erweiterten Massenbereichsoptionen bis 1000 AMU.
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XBS
Ein System für die Überwachung mehrerer Quellen in MBE-Beschichtungsanwendungen. Für die Molekularstrahlanalyse und Depositionsratenkontrolle.
![](https://www.hideneurope.de/wp-content/uploads/2021/04/HAL301-3F-LP-Ion-Source1.jpg)
3F PIC / 1000 Series PIC
Die Quadrupole der 3F PIC-Serie von Hiden sind hochpräzise Dreifilter-Analysatoren mit digitalen Detektoren für höchste Empfindlichkeit und Zeitauflösung bei UHV-TPD-Anwendungen.
![](https://www.hideneurope.de/wp-content/uploads/2020/05/dls-1.jpg)
DLS-1
Ein System für die Tokamak/Torus-Fusionsforschung. Misst die Konzentration der Reinheit von Fusionsbrennstoffgas, einschließlich Wasserstoffisotopen, z. B. Deuterium in Helium.
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DLS-10
Ultrahochauflösendes Quadrupol-Massenspektrometer. Speziell entwickelt für die Analyse von Wasserstoff- , Helium-Isotopen und leichten Gasen.
![](https://www.hideneurope.de/wp-content/uploads/2020/05/dls-20.jpg)
DLS-20
Einzigartiges Zwei-Zonen schaltbares ultrahochauflösendes Quadrupel-Massenspektrometer. Speziell entwickelt für die Analyse von Wasserstoff-, Helium-Isotopen und leichten Gasen.
![](https://www.hideneurope.de/wp-content/uploads/2020/05/hal-101.jpg)
HAL 101X
Ein System für die Tokamak-/Torusfusionsforschung mit ferngesteuerter Analysatormontage bis zu 140 m. Umfasst den TIMS-Modus des DLS-1-Systems zur Messung der Konzentration der Reinheit von Fusionsbrennstoffgas einschließlich Wasserstoffisotopen, z. B. Deuterium in Helium.