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Massenspektrometer für die Restgasanalyse

RGA Series

Systeme zur Untersuchung von Komponenten, die in einem Behälter vorhanden sind oder aus einem Prozess stammen. Misst die Konzentration von Gasen und Dämpfen in Echtzeit.

HALO

Ein Restgasanalysator für Vakuum-Fingerprint-Analyse, Lecksuche und Trendanalyse.

Ion Source Options

Eine Reihe von Elektronenstoß-Ionenquellen, die mit jedem unserer Restgasanalysatoren geliefert werden können. Konfiguriert Restgasanalysatoren für spezifische Anwendungen, zum Beispiel für die Molekularstrahlanalyse.

HMT

Ein Dual-Mode-RGA-System für die Vakuumdiagnostik und Prozessüberwachung ohne Differentialpumpbetrieb. Misst die Restgase, Prozessverunreinigungen und sorgt für die Lecksuche.

HAL 201 RC

Ein Restgasanalysator, konfiguriert für anspruchsvolle UHV-Anwendungen. Misst die Konzentration von Gasen und Dämpfen in Echtzeit.

HALO 201 MBE

Ein Restgassystem, konfiguriert für Molekularstrahlepitaxie-Anwendungen. Misst Restgase und sorgt für die Kontaminations- und Leckerkennung in MBE-Anlagen.

EPIC / EPIC 1000 Series

Ein System für die UHV-Analyse von Neutralen, Radikalen und Ionen. Misst die Ionen, Neutrale und Partialdrücke im UHV/XHV.

IDP / IDP 1000 Series

Ein System für die Analyse von Ionen, Neutralen und Radikalen in UHV-Desorptionsstudien. Misst Ionen und Neutrale in der elektronen- und photonenstimulierten Desorption.

3F Series / 1000 Series RGA

Ein System für hochpräzise wissenschaftliche und Prozessanwendungen. Misst die Partialdrücke von Restgasen mit ultrahoher Auflösung und erweiterten Massenbereichsoptionen bis 1000 AMU.

XBS

Ein System für die Überwachung mehrerer Quellen in MBE-Beschichtungsanwendungen. Für die Molekularstrahlanalyse und Depositionsratenkontrolle.

3F PIC / 1000 Series PIC

Die Quadrupole der 3F PIC-Serie von Hiden sind hochpräzise Dreifilter-Analysatoren mit digitalen Detektoren für höchste Empfindlichkeit und Zeitauflösung bei UHV-TPD-Anwendungen.

DLS-1

Ein System für die Tokamak/Torus-Fusionsforschung. Misst die Konzentration der Reinheit von Fusionsbrennstoffgas, einschließlich Wasserstoffisotopen, z. B. Deuterium in Helium.

DLS-10

Ultrahochauflösendes Quadrupol-Massenspektrometer. Speziell entwickelt für die Analyse von Wasserstoff- , Helium-Isotopen und leichten Gasen.

DLS-20

Einzigartiges Zwei-Zonen schaltbares ultrahochauflösendes Quadrupel-Massenspektrometer. Speziell entwickelt für die Analyse von Wasserstoff-, Helium-Isotopen und leichten Gasen.

HAL 101X

Ein System für die Tokamak-/Torusfusionsforschung mit ferngesteuerter Analysatormontage bis zu 80 m. Umfasst den TIMS-Modus des DLS-1-Systems zur Messung der Konzentration der Reinheit von Fusionsbrennstoffgas einschließlich Wasserstoffisotopen, z. B. Deuterium in Helium.