Massenspektrometer für die Oberflächenanalyse
Compact SIMS
Das Hiden Compact SIMS (Sekundärionen-Massenspektrometrie) hat einen niedrigen Formfaktor und ein einfaches, benutzerfreundliches Layout mit hervorragender Isotopenempfindlichkeit über das gesamte Periodensystem.
AutoSIMS
Als robuste Lösung für die Oberflächenanalyse bei hohem Durchsatz kann das AutoSIMS hunderte von Prozessen pro Tag ohne Bedienereingriff durchführen.
SIMS/SNMS Workstation
Die SIMS Workstation kombiniert dynamische und statische SIMS-Analysen mit einem Dual-Mode-Massenspektrometer für positive (+ve) und negative (-ve) Ionendetektion und einem zusätzlichen sekundären neutralen Massenspektrometrie (SNMS)-Detektionsmodus für eine überragende Flexibilität bei Oberflächenanalyseanwendungen.
ToF-qSIMS Workstation
Das Hiden TOF-qSIMS-System wurde für die Oberflächenanalyse und Tiefenprofilierung einer Vielzahl von Materialien entwickelt, darunter Polymere, Pharmazeutika, Supraleiter, Halbleiter, Legierungen, optische und funktionelle Beschichtungen und Dielektrika, mit Messung von Spurenkomponenten im sub-ppm-Bereich.
EQS SIMS Analyser
Mit hohen Transmissionsraten und einem integrierten elektrostatischen 45°-Sektor-Energieanalysator ist der Hiden EQS (elektrostatischer Quadrupol) ein vielseitiger Positiv- und Negativ-Ionen-SIMS-Detektor für Anwendungen in der Oberflächenanalyse auf der Nanoskala.
MAXIM
Das Hiden MAXIM ist ein komplettes Quadrupol-Massenspektrometriesystem mit hoher Transmissionsoptik und einem Dreifach-Massenfilter, das eine detaillierte Abbildung der Oberflächenzusammensetzung in einem Massenbereich von bis zu 1000 atomaren Masseneinheiten (AMU) unterstützt.
IG5C
Der IG5C verfügt über eine Oberflächenionisationsquelle mit geringer Leistung und hoher Helligkeit, die mit einer kompakten Ionensäule gekoppelt ist und hohe Leistung in einem kleinen Paket bietet. Der IG5C ist als primärer Ionenstrahl für alle SIMS-Anwendungen, dynamisch, statisch und bildgebend, konzipiert.
IG20
Die Hiden IG20 wurde in erster Linie für die Kompatibilität mit Sauerstoff entwickelt. Sie ist eine Hochleistungs-Elektronenstoß-Ionenquelle mit einer hohen Stromdichte für einen intensiven Spot von nur 100 Mikrometern (µm) Durchmesser.
Kundenorientierte SIMS Lösungen
Die modulare Bauweise der Hiden-Produkte ermöglicht es, effizient kundenspezifische Geräte für bestimmte Anwendungen und Einsatzorte zu entwickeln.
XPS für SIMS
Eine Multitechnik-UHV-Systemoption für die Oberflächenforschung mit XPS, UPS, AES, SAM, ISS und LEIS, installiert auf der Hiden SIMS Workstation.
