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Massenspektrometer für Dünnfilme, Plasma- und Oberflächenuntersuchungen

HPR-30 Series

In-Situ differentiell gepumpte Gasanalysatoren für Vakuumprozessgaszusammensetzung, Kontaminationsüberwachung und Lecksuche.

HPR-60 MBMS

Das HPR-60 MBMS (Molekularstrahl-Massenspektrometer) ist für die Analyse von positiven (+ve) und negativen (-ve) Ionen sowie von Neutralen und Radikalen optimiert und damit eine robuste Lösung für die Plasma- und Verbrennungsanalyse.

HMT

Ein Dual-Mode-RGA-System für die Vakuumdiagnostik und Prozessüberwachung ohne Differentialpumpbetrieb. Misst die Restgase, Prozessverunreinigungen und sorgt für die Lecksuche.

EQP Series

EQP-Systeme sind kombinierte Massen- und Energieanalysatoren für detaillierte Untersuchungen des Plasmas. EQP-Systeme bieten eine hochempfindliche Analyse von positiven und negativen Plasma-Ionen, Neutronen und Radikalen.

PSM

PSM-Systeme sind kombinierte Massen- und Energieanalysatoren mit Inline-Energieanalysator für die Plasmadiagnostik – zur Identifizierung der wichtigsten Komponenten und Reaktionskinetiken in der Plasmachemie.

ESPion

Eine fortschrittliche Langmuir-Sonde, die statische und ortsaufgelöste Messungen der primären elektrischen Parameter des Niederdruckplasmas ermöglicht.

IMP-EPD

Ionenfräs-Sonden-Endpunktdetektor zur Identifizierung von Materialgrenzflächen bei der Herstellung von Mehrschicht-Bauelementen – Anwendungen umfassen magnetische Dünnschichten, Hochtemperatur-Supraleiter und III-V-Halbleiter.

XBS

Überwachung der Mehrfachquellenabscheidung in MBE-Anwendungen. Hoch kontaminationsresistenter, speziell entwickelter Quadrupol zur Überwachung der Abscheidungsrate, Analyse der Quellenqualität und Hochleistungs-Vakuumdiagnostik.

TPD Workstation

Integrierte UHV-temperaturprogrammierte Desorptions-Workstation. Komplett mit schneller Probenladeschleuse, beheiztem Probentisch, Triple-Filter-Quadrupol-Massenspektrometer und gekühltem Shroud für optimale Empfindlichkeit und minimale Unterdrücke.

SIMS Workstation

Die SIMS-Workstation kombiniert dynamische und statische SIMS-Analyse mit einem Dual-Mode-Massenspektrometer für positive (+ve) und negative (-ve) Ionendetektion und einem zusätzlichen sekundären neutralen Massenspektrometrie (SNMS)-Detektionsmodus für höchste Flexibilität bei der Oberflächenanalyse.

ToF-qSIMS Workstation

Das Hiden TOF-qSIMS-System wurde für die Oberflächenanalyse und Tiefenprofilierung einer Vielzahl von Materialien entwickelt, darunter Polymere, Pharmazeutika, Supraleiter, Halbleiter, Legierungen, optische und funktionelle Beschichtungen und Dielektrika, mit Messung von Spurenkomponenten bis in den sub-ppm-Bereich.

Compact SIMS

Das Hiden Compact SIMS (Sekundärionen-Massenspektrometrie) hat einen niedrigen Formfaktor und ein einfaches, benutzerfreundliches Layout, mit hervorragender Isotopenempfindlichkeit über das gesamte Periodensystem.

AutoSIMS

Als robuste Lösung für die Oberflächenanalyse bei hohem Durchsatz kann das AutoSIMS hunderte von Prozessen pro Tag ohne Bedienereingriff durchführen.

EQS SIMS Analyser

Mit hohen Transmissionsraten und einem integrierten elektrostatischen 45°-Sektor-Energieanalysator ist der Hiden EQS (elektrostatischer Quadrupol) ein vielseitiger Positiv- und Negativ-Ionen-SIMS-Detektor für Anwendungen in der Oberflächenanalyse auf der Nanoskala.

MAXIM

Das Hiden MAXIM ist ein komplettes Quadrupol-Massenspektrometriesystem mit hoher Transmissionsoptik und einem Dreifach-Massenfilter, das eine detaillierte Abbildung der Oberflächenzusammensetzung in einem Massenbereich von bis zu 1000 atomaren Masseneinheiten (AMU) unterstützt.

IG5C

Der IG5C verfügt über eine Oberflächenionisationsquelle mit geringer Leistung und hoher Helligkeit, die mit einer kompakten Ionensäule gekoppelt ist und hohe Leistung in einem kleinen Paket bietet. Der IG5C ist als primärer Ionenstrahl für alle SIMS-Anwendungen, dynamisch, statisch und bildgebend, konzipiert.

IG20

Die Hiden IG20 wurde in erster Linie für die Kompatibilität mit Sauerstoff entwickelt und ist eine Hochleistungs-Elektronenstoß-Ionenquelle mit einer hohen Stromdichte für einen intensiven Spot von nur 100 Mikrometern (µm) Durchmesser.