Nanotechnologie
Bestimmung der Oberflächenzusammensetzung, Schadstoffanalyse und Tiefenprofilierung
SIMS/SNMS Workstation
Die SIMS-Workstation kombiniert dynamische und statische SIMS-Analyse mit einem Dual-Mode-Massenspektrometer für positive (+ve) und negative (-ve) Ionendetektion und einem zusätzlichen sekundären neutralen Massenspektrometrie (SNMS)-Detektionsmodus für höchste Flexibilität bei der Oberflächenanalyse.
HPR-60 MBMS
Das HPR-60 MBMS (Molekularstrahl-Massenspektrometer) ist für die Analyse von positiven (+ve) und negativen (-ve) Ionen sowie von Neutralen und Radikalen optimiert und damit eine robuste Lösung für die Plasma- und Verbrennungsanalyse.
XBS
Überwachung der Mehrfachquellenabscheidung in MBE-Anwendungen. Hoch kontaminationsresistenter, speziell entwickelter Quadrupol zur Überwachung der Abscheidungsrate, Analyse der Quellenqualität und Hochleistungs-Vakuumdiagnostik.
TPD Workstation
Integrierte UHV-temperaturprogrammierte Desorptions-Workstation. Komplett mit schneller Probenladeschleuse, beheiztem Probentisch, Triple-Filter-Quadrupol-Massenspektrometer und gekühltem Shroud für optimale Empfindlichkeit und minimale Unterdrücke.
