Nanotechnologie
Bestimmung der Oberflächenzusammensetzung, Schadstoffanalyse und Tiefenprofilierung
SIMS/SNMS Workstation
Die SIMS-Workstation kombiniert dynamische und statische SIMS-Analyse mit einem Dual-Mode-Massenspektrometer für positive (+ve) und negative (-ve) Ionendetektion und einem zusätzlichen sekundären neutralen Massenspektrometrie (SNMS)-Detektionsmodus für höchste Flexibilität bei der Oberflächenanalyse.
HPR-60 MBMS
Das HPR-60 MBMS (Molekularstrahl-Massenspektrometer) ist für die Analyse von positiven (+ve) und negativen (-ve) Ionen sowie von Neutralen und Radikalen optimiert und damit eine robuste Lösung für die Plasma- und Verbrennungsanalyse.
XBS
Überwachung der Mehrfachquellenabscheidung in MBE-Anwendungen. Hoch kontaminationsresistenter, speziell entwickelter Quadrupol zur Überwachung der Abscheidungsrate, Analyse der Quellenqualität und Hochleistungs-Vakuumdiagnostik.
TDSLab Series
Thermodesorptionsspektrometriesysteme für die Materialforschung. Die TDSLab-Serie bietet hohe Präzision, Zuverlässigkeit und Vielseitigkeit in Forschung und Industrie.
FIB-SIMS
Leistungsstarke, montierbare Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS) für bestehende, fokussierende Ionenstrahlsysteme (FIB).
ESPion
Eine fortschrittliche Langmuir-Sonde, die statische und ortsaufgelöste Messungen der primären elektrischen Parameter des Niederdruckplasmas ermöglicht.
CATLAB-PCS
Ein System für die Katalysatorcharakterisierung, Reaktionstests, kinetische und thermodynamische Messungen.
AutoSIMS
Als robuste Lösung für die Oberflächenanalyse bei hohem Durchsatz kann das AutoSIMS hunderte von Prozessen pro Tag ohne Bedienereingriff durchführen.
